Produktöversikt
PVD Composite Thin Film Equipment är en industriell vakuumdeponeringsplattform konstruerad för att deponera tunna filmer av flera-lager, legeringar och nanokompositer. Genom att integrera magnetronförstoftning och katodbågskällor i en enda vakuumkammare, möjliggör systemet exakt kontroll över filmmikrostruktur, kvarvarande spänning och gränssnittsvidhäftning. Plattformen är byggd för kontinuerlig produktion och avancerad FoU och rymmer metalliska, keramiska och polymera substrat med skalbara kammargeometrier.
-
![PVD-kompositvakuumavsättningsutrustning]()
PVD-kompositvakuumavsättningsutrustningDenna industriella PVD-komposit-vakuumavsättningsplattform integrerar flera avsättningstekniker i en enda kammare för att avsätta enhetliga, fler-skiktiga metalliska, legerade eller dielektriska...visa mer -
![PVD Hybrid tunnfilmsavsättningssystem]()
PVD Hybrid tunnfilmsavsättningssystemPVD Hybrid Thin Film Deposition System integrerar termisk förångning, elektronstråleförångning (e-stråle) och RF/DC-magnetronförstoftning i en enda vakuumarkitektur. Den här plattformen möjliggör...visa mer -
![PVD Multi-Process tunnfilmsutrustning]()
PVD Multi-Process tunnfilmsutrustningPVD Multi-Process Thin Film Equipment är en integrerad vakuumavsättningsplattform konstruerad för att kombinera flera tekniker för tillverkning av tunn-film – inklusive RF/DC Magnetron Sputtering,...visa mer -
![PVD-kompositdeponeringsutrustning]()
PVD-kompositdeponeringsutrustningIndustriell PVD-kompositbeläggningsutrustning är konstruerad för tillverkning av fler-komponent-, fler-lager och nano-komposit tunn-film. Systemet integrerar termisk förångning, e-stråleförångning...visa mer -
![PVD komposit tunnfilmssystem]()
PVD komposit tunnfilmssystemIndustriellt -vakuumbeläggningssystem som integrerar magnetronförstoftning (RF/DC/HiPIMS) och katodisk ljusbågsförångning. Designad för kontinuerlig, fler-lager, legering och nano-komposit...visa mer -
![PVD-komposit tunnfilmsutrustning]()
PVD-komposit tunnfilmsutrustningPVD Composite Thin Film Equipment är en industriell vakuumplattform designad för att syntetisera fler-skikts-, legerings- och graderade tunna filmer. Byggd på en modulär arkitektur av 304L/316L...visa mer
Tekniska specifikationer
|
Parameter |
Specifikationsområde |
|
Ultimat vakuumtryck |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
Arbetstryck |
0,1 Pa - 5.0 Pa |
|
Substrattemperatur |
Omgivningstemperatur till 800 grader (sluten-slinga PID-kontrollerad) |
|
Deponeringskällor |
Konfigurerbar: DC/RF Magnetron Sputtering, Pulsed DC, Filtered Cathodic Arc |
|
Tjocklekslikformighet |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
Kammarmaterial |
304L/316L rostfritt stål, mekaniskt slipat och elektro-polerat (Ra<= 0.4 um) |
|
Integration av strömförsörjning |
MF-generatorer (10-100 kHz), RF-generatorer (13,56 MHz), pulsad DC-förspänning |
|
Styrsystem |
Industriell PLC + IPC med automatiserad receptexekvering, förreglingsövervakning och batchdataloggning |
Sammansatt deponeringsprocess
Systemet använder en hybrid fysisk ångavsättningsarkitektur som kombinerar magnetronförstoftning och katodbågsteknik.
Multi-Källsynergi:
Samtidig eller sekventiell drift av flera katoder möjliggör abrupta eller graderade kompositionsövergångar över filmstapeln.
Jonetsning för-rengöring:
RF eller DC plasmarengöringssteg tar bort inhemska oxider och ytföroreningar före avsättning för att maximera beläggningen-till-underlagets vidhäftning.
Reaktiv avsättningskontroll:
Optisk emissionsspektroskopi (OES) med sluten-slinga reglerar reaktiv gasinjektion (O2, N2, C2H2) för att upprätthålla stabil sammansättningsstökiometri och förhindra målförgiftning.
Substratförspänning:
Synkroniserade pulsade strömförsörjningar bombarderar den växande filmen med hög-energijoner, förtätar mikrostrukturen och skräddarsyr kvarvarande tryckspänning.
Filmmaterial
Utrustningen stöder ett brett spektrum av målmaterial för skräddarsydda funktionskrav:
Övergångsmetallnitrider och -karbider:
TiN, TiAlN, CrN, ZrN, TiCN för slitage och korrosionsbeständighet.
Nanokomposit- och flerskiktssystem:
TiSiN, AlTiSiN, metall/keramiska nanolager för extrem hårdhet och termisk stabilitet vid hög-temperatur.
Transparent Conductive Oxides (TCO):
ITO, AZO, IGZO för optoelektroniska och fotovoltaiska applikationer.
Rena metaller och legeringar:
Ti, Cr, Al, Cu, Rostfritt stål, NiCr för elektriska kontakt- och diffusionsbarriärskikt.
Ansökningar
Precisionsskärverktyg:
Avsättning av super-hårda beläggningar med låg-friktion (t.ex. TiAlN) på hårdmetallskär, borrar och änd-fräsar för att förlänga livslängden under höga termiska belastningar.
Fordonskomponenter:
Friktions-reduktion och slitagebeständiga-filmer på kolvringar, bränsleinsprutningsdelar och kugghjulsenheter.
Optoelektronik och skärmar:
Låg-resistivitet, hög-transmissionsledande oxidskikt för pekpaneler och solcellssubstrat.
Medicinsk utrustning:
Biokompatibla och slitstarka-beläggningar på kirurgiska instrument och ortopediska implantat.
Anpassning och systemkonfiguration
Tekniska konfigurationer är anpassade till specifika produktionsanläggningsbegränsningar och processrecept:
Kammarstorlek:
Cylindriska eller rektangulära kammaralternativ, allt från FoU-satssystem (500 mm diameter) till stor-produktionslast-låssystem (1000 mm+).
01
Urval av pumpsvit:
Matchande rotblåsare, turbomolekylära pumpar och kryogena pumpar baserat på nödvändiga pumpstopptider och gasbelastningsprofiler.
02
Substratfixtur:
Anpassade planetrotationssteg, 3-satellitrotation eller rulla-moduler designade för komplexa 3D-geometrier eller kontinuerliga banor.
03
Automatiseringsnivå:
Halv-automatiska manuella belastningskonfigurationer eller helautomatiska vakuumöverföringssystem med robotbaserad substrathantering.
04
Tillverkning och kvalitetskontroll
Läckagedetektering:
Varje vakuumkammare genomgår läckagetestning av heliummasspektrometer till ett tröskelvärde på < 1 x 10^-10 Pa * m^3 / s.
Svetsinspektion:
Vakuum-sidsvetsar är TIG-svetsade, slipade och polerade, följt av -röntgen- eller färgpenetrantinspektion på begäran.
Överensstämmelse med el och säkerhet:
Kontrollpaneler byggda i enlighet med NFPA 79 eller CE/IEC-standarder, med hårdvarulås för vattenflöde, gastryck och elsäkerhet.
Factory Acceptance Testing (FAT):
Testning före-försändelse inkluderar 72-timmars kontinuerlig torrkörning-, verifiering av vakuumprestanda och testbeläggning med hjälp av kundspecificerade recept.
Riktlinjer för webbplatsförberedelse:Omfattande anläggningskravdokument tillhandahålls med detaljerade verktygsgränssnitt (kylvattenflöde/tryck, elektrisk belastning, tryckluft, avgas).
Idrifttagning på-platsen:Fältserviceingenjörer utför mekanisk justering, vakuumläckagekontroller, elektriska kopplingar- och initial kalibrering.
Trimning av processrecept:Samarbete på-plats med kundmetallurger och processingenjörer för att låsa in målparametrar för filmtjocklek, spänning och hårdhet.
Livscykelsupport:Fjärrdiagnosgränssnitt, lokaliserad reservdelsinventering och schemalagda förebyggande underhållsprogram.
FAQ
Vi är väl-kända som en av de ledande tillverkarna och leverantörerna av pvd-komposit tunnfilmsutrustning i Kina. Om du ska köpa anpassad pvd-komposit tunnfilmsutrustning tillverkad i Kina, välkommen att få prislista från vår fabrik. För priskonsultation, kontakta oss.
tunnfilmdetekteringsutrustning, tunn filmutrustning för tillverkning av big data -enheter, Tunt filmvakuumsystem
