China Arc Evaporation Thin Film Equipment Manufacturers Suppliers Factory

Produktöversikt

Industrial Cathodic Arc Evaporation System är en plattform för fysisk ångavsättning (PVD) i produktionskvalitet konstruerad för att avsätta slitstarka,-korrosionsbeständiga,-och låg-friktionsbeläggningar. Genom att använda ljusbågar med låg-spänning och hög-ström förångas fasta katodmål och joniseras omedelbart vid katodpunkten, vilket genererar högjoniserat metallplasma.

Detta system är designat och tillverkat enligt ISO 9001 kvalitetsledningsstandarder och CE-efterlevnadsdirektiv, och det här systemet är konfigurerat för beläggningsoperationer med hög-genomströmning inom verktygstillverkning, fordonskomponenter och industriell hårdvara. Standardkonfigurationer integrerar multi-katodlayouter med oberoende magnetisk-fältstyrning, programmerbara DC/pulsade förspänningsaggregat och automatiserad vakuumkontroll för att upprätthålla konsekvent filmstökiometri och täta mikrostrukturer.

Arc Evaporation Thin Film System
Industrial Cathodic Arc Evaporation Thin Film System är konstruerat för hög-avsättning av täta, starkt vidhäftande beläggningar av metall, legeringar och keramiska sammansättningar. Systemet...
visa mer
Arc Evaporation PVD-utrustning
Det industriella PVD-systemet för förångning av katodbågar använder elektriska ljusbågar med låg-hög-ström för att förånga fasta katodmål i en vakuummiljö. Denna mekanism uppnår en...
visa mer
Vacuum Arc Thin Film System
Industrial Vacuum Arc Thin Film System använder katodisk bågeavdunstning för att avsätta täta, mycket vidhäftande metalliska, legerade och keramiska tunna filmer. En hög-ström, låg-båge förångar...
visa mer
Cathodic Arc tunnfilmsutrustning
Fysiskt ångavsättningssystem (PVD) som använder lokaliserade ljusbågar med låg-spänning och hög-ström för att förånga fasta katodmål till helt joniserad plasma. Den höga joniseringshastigheten...
visa mer
Utrustning för bågavdunstning
Industriell fysisk ångavsättning (PVD)-plattform konstruerad för hög-syntes av täta, slitstarka- och funktionella hårda beläggningar. Att upprätthålla en hög-ström, låg-katodisk urladdning på...
visa mer
Arc Evaporation tunnfilmsutrustning
Detta katodbågsförångningssystem förångar fasta katodmål via en ljusbåge med låg-spänning och hög-ström för att generera helt joniserad metallplasma. Jämfört med standard termisk förångning eller...
visa mer

Tekniska specifikationer

Parameter	Specifikationsområde / Standardkonfiguration
Kammarmått	Diameter: 800 mm - 1800 mm (anpassningsbara vertikala/horisontella layouter)
Kammarmaterial	Dubbel-väggigt SUS304 rostfritt stål med invändiga vatten-kylkanaler
Ultimat vakuumtryck	<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups)
Katodkonfiguration	4 till 12 rektangulära/cirkulära bågkällor med elektromagnetisk styrning
Bågströmförsörjning	300A - 500En justerbar konstant ström, rippel<= 2%
Substrat Bias Power	0 till -1000V justerbar, pulsad förspänningsfrekvens 10 kHz - 100 kHz
Värmesystem	Strålningsvärmare, max temperatur 600 grader +/- 5 graders enhetlighet
Arbetsstyckets rotation	Planetär eller dubbel-axelrotation som drivs av magnetisk vätskegenomföring
Styrsystem	PLC + industriell PC, recept-driven automatiserad sekvenskontroll
Verktygskrav	Kylvatten: 0,25-0,35 MPa, 20-25 grader ; Effekt: 380V/480V, 3-fas, 50/60 Hz

Bågavdunstningsprocessen

Deponeringscykeln arbetar under strikt procedurkontroll för att garantera filmens integritet och gränssnittsvidhäftning:

Evakuering och avgasning:

Vakuumkammaren pumpas ner till bastrycket. Substraten värms upp under vakuum för att eliminera ytflyktiga ämnen och kvarvarande fukt.

Plasmaetsning (rengöring):

Metalljonbeskjutning (med titan- eller krommålkällor) rengör substratytan på atomnivå, tar bort inhemska oxider och aktiverar gränsytan.

Reaktiv avsättning:

Reaktiva gaser (N2, CH4, O2) injiceras i kammaren genom massflödeskontroller (MFC) för att reagera med metallplasmaflödet (t.ex. Ti, Cr, AlTi), och bildar sammansatta filmer som TiN, TiAlN eller CrN.

Kylning och ventilation:

Efter-avsättningskylning sker under skyddande inert gasatmosfär före kammarventilering och återhämtning av delar.

Filmmaterial och substrat

Katodmål som stöds
Titan (Ti) & Titanium Aluminium (TiAl):Basmaterial för standard TiN och hög-oxidations-beständig TiAlN-beläggning (tål oxidation upp till 900 grader).

Krom (Cr):Används för dekorativa ytbehandlingar och korrosionsbeständiga -CrN/CrC-lager.

Zirkonium (Zr) & Titanium Silicon (TiSi):Används för specialiserade dekorativa och extremt slitstarka-nanokompositfilmer.

Kompatibla substratmaterial
Höghastighetsstål (HSS):Vridborrar, pinnfräsar, hällar och broscher.

Hårdmetaller (WC-Co):Vändbara skär, brotschar och formverktyg.

Tekniska stål och legeringar:Ventilkomponenter för fordon, kugghjul, sanitetsutrustning i rostfritt stål och medicinska implantat av titan.

Applikationer och prestandapåverkan

Metallskärverktyg:

Avsättning av TiAlN- och AlCrN-beläggningar på hårdmetallskär och pinnfräsar, förlänger verktygets livslängd med 200 % till 300 % och möjliggör torr bearbetning med hög-hastighet.

Formnings- och stämplingsverktyg:

Applicering av täta,-lågfriktionsbeläggningar för att minska limförslitning, nötning och att arbetsstycket fastnar under djupdragning, vilket minskar stilleståndstiden med upp till 40 %.

Drivlina för fordon:

Behandling av kolvringar, bränsleinsprutningsstift och ventillyftar för att minimera gränsfriktionskoefficienten ner till < 0,15 och förhindra slitage.

Industriell hårdvara och sanitär kran:

Hårda dekorativa PVD-skikt (TiN-guld, roséguld, svart zirkonium) som klarar minst 500 timmars neutral saltspraytest (ASTM B117).

Anpassning och processkonfiguration

Utrustningslayouter skalas efter produktionsvolym, delgeometri och fabriksfotavtryck:

Kammargeometri:

Vertikala belastningsstrukturer för tunga verktyg; horisontella batchkonfigurationer för hög-kapacitetsladdning av fixturer.

Källintegrering:

Hybridkonfigurationer som kombinerar katodiska bågkällor med obalanserade magnetronförstoftningskatoder (RMS) för att avsätta jämna, droppfria flerskiktsarkitekturer.-

Filtreringssystem:

Valfria magnetiska makropartikelfilter (styrda bågefilter) installerade på katodkanaler för att eliminera makro-droppar för optiska eller ultra-släta precisionsfunktionella beläggningar.

Automationsgränssnitt:

Integration-förberedd för robotlastarmar och automatiserad styrd fordon (AGV) batchinställning.

Tillverkning och kvalitetskontroll

Strukturell integritet:Kammarkroppar genomgår Helium-masspektrometerläckagetest vid en känslighetströskel på<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.

Elsäkerhet och efterlevnad:Byggd strikt enligt CE- och IEC-riktlinjerna för elsäkerhet, med fullständig isoleringstestning och nödsäkerhetsspärrar.

Functional Run-off (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell indrag HF1-HF2) verifieras på standardtestkuponger före leverans.

Installation & teknisk support

Webbplatsförberedelsepaket:

Omfattande layoutritningar som visar kylvattenflöden, frånluftsventilation, golvbelastningskapacitet och elektriska fallspecifikationer tillhandahålls 4 veckor efter -kontraktet.

Idrifttagning på-platsen:

Fabrikscertifierade-processingenjörer hanterar mekanisk inriktning, vakuumläckagedetektering, elektrisk integrering och initial konfiguration av baslinjerecept på kundanläggningen.

Processreceptöverföring:

Leveransen inkluderar standardrecept för baslinje (TiN, TiAlN, CrN) och operativ utbildning för interna underhålls- och ingenjörsteam.

Fjärrdiagnostikstöd:

System utrustade med säkra industriella routergateways för felsökning av fjärrparameter och PLC-logikdiagnostik.

FAQ

F: Hur styr systemet generering av makropartiklar (droppar) som är inneboende i ljusbågsförångning?

S: Utrustningen använder justerbara magnetfältsstyrspolar för att snabbt flytta katodbågspunkten över målytan, vilket minskar uppehållstid och dropputkastning. För applikationer som kräver ultra-jämna ytbehandlingar avleder valfria filtrerade bågmoduler metallplasman bort från makropartiklar innan de når substratet.

F: Vilken är den typiska målanvändningshastigheten för standardkatodkonfigurationen?

S: Cirkulära och rektangulära standardkatoder uppnår en målmaterialutnyttjandegrad på 40 % till 55 %, beroende på magnetfältsprofilen och måltjockleken. Målbyte är mekaniskt säkrad med snabb-klämmekanismer för att minimera underhållsstopp.

F: Kan denna utrustning integreras i en befintlig automatiserad produktionslinje?

A: Ja. PLC-styrarkitekturen stöder SECS/GEM-kommunikationsprotokoll och standard digital I/O-handskakning för integration med automatiska för-rengöringslinjer och robotladdningsceller.

F: Vad är standardledtiden för en anpassad kammarkonfiguration?

S: Standard vertikala batchsystem kräver 16 till 22 veckor från godkännande till fabriksgodkännandetest (FAT), beroende på anpassade pumpgruppsspecifikationer och strömförsörjningsarrangemang.

Vi är väl-kända som en av de ledande tillverkarna och leverantörerna av tunnfilmsutrustning för bågeavdunstning i Kina. Om du ska köpa anpassad tunnfilmsutrustning för bågeavdunstning tillverkad i Kina, välkommen att få prislista från vår fabrik. För priskonsultation, kontakta oss.