Elektronstråleavdunstning tunnfilmssystem

EBE-seriens elektronstråleförångningssystem är konstruerat för fysisk ångavsättning (PVD) av hög-smältpunkt-metaller, dielektriska och optiska material. Genom att använda en magnetiskt avböjd, fokuserad elektronstråle direkt på källmaterial i vatten-kylda deglar, uppnår systemet höga avsättningshastigheter samtidigt som det upprätthåller en föroreningsfri- vakuummiljö.

Den här plattformen är inriktad på produktionslinjer och avancerade forskningslaboratorier och stöder tillverkning av fler-tunn-film med exakt hastighetskontroll, vilket gör den lämplig för optiska interferensfilter, halvledarmetallisering och slitstarka-beläggningar.

Magnetisk strålavböjning:270 graders böjning av e-pistolgeometrin håller glödtråden skyddad från direkt linje-av-siktmaterial, vilket förhindrar kortslutning och nedbrytning av glödtråden.

Closed-Loop Rate Control:Integrerar fler-kvartskristallsensorer med proportionell-integral-derivat (PID) algoritmutgång för att reglera e-emissionsström och avsättningshastighet dynamiskt.

Modulärt degeldäck:Indexeringsmekanismen använder ferrofluidiska genomföringar och direkt-stegmotorer för snabb, partikelfri -degelbyte under vakuum.

Interlocked Safety Architecture:Hårdvarulås på-nivå övervakar kylvattenflöde, vakuumtrösklar och kammardörrstatus för att skydda operatörer och hög-komponenter.

Vakuumunderenheten- är byggd för renhet och snabb cykling:

Grovbearbetning & Foreline:Olje-fri torr scrollpump (kapacitet: 30 m³/h) eliminerar kolväten som återströmmar in i huvudkammaren.

Högt vakuum:Sammansatt turbo-molekylär pump stödd av elektropneumatiska slussventiler och pneumatiska vinkelventiler.

Tryckövervakning:Kombinerade Pirani och Bayard-Alpertjonmätare ger real-feedback över atmosfären till ultra-högt vakuum (10⁻⁹ Torr).

Bakeout-förmåga:Valfria infraröda värmare av kvarts eller mantelvärmare möjliggör termisk avgasning av kammaren för att nå bastrycktröskelvärden snabbare.

Källmaterial som stöds
Eldfasta metaller:Ti, Ta, W, Mo, Cr, Ni, Au, Ag, Al, Cu.

Dielektrika och oxider:Si02, TiO2, Ta2O5, AI2O3, HfO2, Nb2O5.

Substratkompatibilitet
Halvledarskivor:2-tums till 8-tums kisel, GaAs, safir.

Optiska substrat:Fused silica, BK7, Zerodur, germanium, och zink selenid linser/prismor.

Flexibla underlag:Polyimidfilmer (via specialiserade rull-till-rullar eller bärarplattor).

Laseroptik:Avsättning av låg-spridning, hög-laser-skada-tröskel (LIDT) dielektriska staplar (TiO₂/SiO₂) för hög-effektspeglar och stråldelare.

Halvledare och mikroelektronik:Avsättning av grindmetall, bildning av ohmsk kontakt och-lyft metalliseringsprocesser för diskreta enheter och sensorer.

Optoelektronik:Transparenta ledande oxid (TCO) lager och metall katod förångning för OLED och fotovoltaiska cell tillverkning.

Varje produktionsmiljö har unika layout- och integrationsbegränsningar. Fabrikstekniska ändringar inkluderar:

Kammargeometri:Anpassade portplaceringar för in-diagnostik (t.ex. Ellipsometri, SIMS eller RHEED).

Ladda-Låsintegration:Linjära magnetiska överföringsarmar eller automatisk pneumatisk gaffelöverföring för anslutning till klusterverktyg eller handskboxlinjer.

Substratförspänning och uppvärmning:RF/DC bias strömförsörjning för jon-assisterad deposition (IAD) och substratvärmning upp till 800 grader.

PLC & HMI-lokalisering:Siemens S7 eller Allen-Bradley PLC-styrarkitekturer som uppfyller specifika protokoll för anläggningsautomatisering.

Läcktestning:Varje svetsad kammare av rostfritt stål är heliummasspektrometerläckage-testad till en känslighet på < 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s före montering.

Hög-isolationstest:Strömförsörjningar för e-pistoler genomgår dielektriska hållfasthetstestning vid 1,5× märkspänning plus 1000V i 60 sekunder.

Factory Acceptance Test (FAT):System genomgår en kontinuerlig 72-timmars förbränning-i testet, verifierar pumphastighetskurvor, e-gun svepkalibrering och filmtjocklekslikformighet över testsubstrat innan de packas.

Dokumentationspaket:Omfattande manualer inklusive elektriska scheman, P&ID-diagram, PLC-källkoder, materialsäkerhetsdatablad och kalibreringscertifikat.

På-webbplatstjänster:Fabrikscertifierade-serviceingenjörer hanterar mekanisk montering, nätanslutningar (kylvatten, avgaser, ström) och testning av platsacceptans (SAT).

Fjärrdiagnostik:Säker VPN-routerintegration möjliggör fjärrfelsökning, parameteroptimering och mjukvaruuppdateringar av seniora processingenjörer.