PVD -beläggningsmaskiner är huvudsakligen uppdelade i följande tre typer:
Vakuum förångningsbeläggningsmaskin: Denna utrustning avdunstar materialet genom att värma det, så att det avsätts på ytan på arbetsstycket i en vakuummiljö.
Vakuumsputringsbeläggningsmaskin: De positiva jonerna som genereras av gasutsläpp bombarderar målmaterialet, så att målatomerna sputteras ut och deponeras på arbetsstyckets yta.
Vakuumjonbeläggningsmaskin: Lågspänning, högströmbåge-urladdningsteknik används för att få gasutsläpp för att få målmaterialet att avdunsta, och det förångade materialet och gasen joniseras och deponeras sedan på arbetsstycket under verkan av det elektriska fältet.
