Utrustningsbeskrivning:

· Utrustningsintroduktion:

Magnetron sputtering beläggningsmaskin är en fysisk ångavsättningsteknik som använder magnetfält och joninteraktion för att framställa tunna filmer. Magnetron Sputtering beläggningsmaskinen använder företagets beprövade kärnteknologi: Ionbeam Cleaning + Magnetron sputtering källa. I vakuumkammaren når miljön ett högvakuumtillstånd genom att dammsuga. Sedan, med hjälp av glödurladdning eller radiofrekvent strålning, aktiveras målytan för att jonisera de arbetande gasatomerna eller molekylerna och bilda ett plasma. Sedan, genom att applicera ett magnetfält, styrs jonerna av magnetfältet, vilket ökar sannolikheten att träffa målets yta. Jonstrålen kolliderar med målets yta, vilket får atomerna eller molekylerna på målet att sputtera och avsättas på substratytan med högre hastighet för att bilda en film. Energin hos jonstrålen kan justeras, och filmens struktur och egenskaper kan ändras genom att styra jonstrålens energi och densitet. Magnetronsputtringsbeläggningsmaskinen antar helautomatisk kontroll, modulär integrationsoptimering, hög effekt, bra stabilitet, enkel drift och enkelt underhåll. Magnetronförstoftningsmaskinen är lämplig för beläggningsutveckling och batchbeläggningstjänster.

· Utrustningsfördelar:

express Snabb deponeringshastighet;

uttrycka Låg substrattemperaturökning;

express Skadan på membranskiktet är liten;

uttryck Bra membranbindning;

express Hög filmrenhet, bra densitet, bra filmlikformighet;

uttrycka God repeterbarhet;

express Lämplig för en mängd olika material;

express Lätt att realisera industrialisering;

express Sammansättningen av filmskiktet är nära målmaterialets.

express Filmbeläggningen är bra;

uttrycklig negativ förspänning appliceras på arbetsstycket;

uttrycka Composite target-teknik.

Ansökningsfält:

express Microelectronics: Magnetron sputtering beläggningsteknik används inom området mikroelektronik för framställning av metalltrådar, metall kylflänsar, litografiska masker och andra nyckelkomponenter;

express Optiskt fält: Inom optikområdet används magnetronförstoftningsbeläggningsteknik för att tillverka optiska komponenter som linser, filter, speglar etc.

express Kemiskt fält: magnetronförstoftande beläggningsteknik används för att framställa katalysatorer, sensorer och andra kemiska komponenter;

express bearbetningsfält: Inom bearbetningsområdet används tekniken för att förbättra ythårdheten, slitstyrkan och korrosionsbeständigheten hos mekaniska delar;

express dekorationsfält: magnetronsputtering beläggningsteknik används för att producera en mängd vackra och hållbara dekorativa filmer;

express Flexibel elektronik: Magnetronförstoftande beläggningsteknik spelar en viktig roll i flexibla bildskärmar, e-böcker, flexibla solceller och andra nya produkter;

express Energi och miljöskydd: magnetron sputtering beläggningsteknik används för att förbereda solvärmefilm, tunnfilmssolceller och så vidare.

product-1148-259